蓝宝石抛光技术的研究进展

• 作者: 谢昕 郭晓艳 魏昕
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 化学机械抛光 激光热抛光 激光冷抛光
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 粤港机电园地
• 页码范围: 76-78,94
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2006.09.030

摘要

本文介绍目前蓝宝石晶体主要的抛光方法,包括机械抛光、化学抛光、化学机械抛光、激光抛光等,并对它们的工作原理、特点作了分析和总结,特别对最近出现的一种新的抛光技术--激光抛光技术作了详细的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏昕		111	782	15.0	22.0
2	郭晓艳		1	15	1.0	1.0
3	谢昕		1	15	1.0	1.0