AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工

• 作者: 何博涛 刘庆纲 张世林 张超艳 祁森 胡小唐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: AFM阳极氧化 脉冲宽度 偏置电压 大气湿度
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1441-1443,1447
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.034

摘要

通过对利用原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化作用下在硅表面生成纳米氧化结构的特征的讨论,发现通过改变加工时的偏置电压和脉冲宽度,氧化点高度和宽度与所施加偏置电压呈对数关系,氧化点高度与宽度与脉冲宽度呈指数关系;同时发现在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,氧化点结构的高度和宽度随相对湿度的增加而增加.文中对该现象进行了讨论,并对加工条件进行了优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	45	189	8.0	10.0
2	胡小唐	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	张超艳	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	祁森	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	3	2	1.0	1.0
5	张世林	天津大学电子信息工程学院	109	334	8.0	11.0
6	何博涛	天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室	2	4	2.0	2.0