衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响

• 作者: 孙兆奇 宋学萍 曹春斌 江锡顺 蔡琪
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnS薄膜 衬底温度 微结构 应力
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1121-1123
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.07.033

摘要

采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底上制备了厚度为320nm的ZnS薄膜,用XRD和光学相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应力.结果表明:不同温度衬底上沉积的ZnS薄膜均呈多晶状态,衬底温度由50℃上升到400℃的过程中,其择优取向发生了变化,晶粒有明显的生长方向;ZnS薄膜应力随着衬底温度升高逐渐减小,衬底温度在250～350℃之间的ZnS薄膜应力较小且在选区内分布比较均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋学萍	安徽大学物理与材料科学学院	63	367	10.0	14.0
2	孙兆奇	安徽大学物理与材料科学学院	91	563	11.0	16.0
3	蔡琪	安徽大学物理与材料科学学院	16	143	7.0	11.0
4	曹春斌	安徽大学物理与材料科学学院	9	46	4.0	6.0
5	江锡顺	安徽大学物理与材料科学学院	5	24	4.0	4.0