金属Cr阻挡层对柔性不锈钢衬底Cu(In,Ga)Se2太阳电池性能的影响

• 作者: 何青 孙云 张力 徐传明 施成营 李长健 王春婧 肖建平 薛玉明
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 三步共蒸发工艺 Cu(InxGa1-x)Se2 柔性不锈钢衬底 Cr阻挡层 FeInSe2
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1781-1784
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 3149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.10.016

摘要

研究了Cr扩散阻挡层对柔性不锈钢衬底Cu(InxGa1-x)Se2(CIGS)太阳电池性能的影响.XRD和SEM分析表明,Cr阻挡层能够部分阻挡Fe等杂质从不锈钢衬底热扩散进入CIGS吸收层中,同时可以显著降低CIGS吸收层的粗糙度,提高薄膜结晶质量.从衬底扩散进入吸收层中的Fe元素以FeInSe2的形式存在,并形成FeCu等深能级缺陷,钝化了器件的性能.相同工艺条件下,在玻璃、不锈钢以及不锈钢/Cr阻挡层上所制备电池的(有效面积0.87cm2)转换效率分别为10.7%,7.95%和8.58%,不锈钢衬底电池效率的提高归因于Cr阻挡层的作用.