CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器

• 作者: 张中平 彭韶华 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 开关电容电路 聚酰亚胺 CMOS兼容工艺 湿度传感器
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 358-362
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.02.031

摘要

设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上.片上集成的湿度传感器为叉指电容式,感湿介质为聚酰亚胺,本文给出了相应的感湿模型.针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点,本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路,讨论了电路的原理并给出了模拟结果.芯片采用3μm多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水.测量结果表明,片上集成湿度传感器在5～35℃有较好的直流输出特性,并且长时间稳定性良好.