“十一五”期间电子材料行业发展规划

• 来源期刊: 试剂与精细化学品
• 学科: 工学
• 关键词: “十一五” 行业发展 电子材料 产业化示范工程 规划 异质结构材料 生产技术 太阳能电池
• 年，卷（期）: sjyjxhxp_2006,（10）
• 页码范围: 2-3
• 页数: 2页
• 分类号: TN04

摘要

1微电子基础配套材料 通过对引进关键设备的消化、吸收改进和再创新，形成抛光片和外延片的高技术产业基地；掌握千吨级多晶硅的生产技术，满足国内微电子和太阳能电池产业发展的需求；实施高温、高频、大功率GaN基异质结构材料和器件产业化示范工程；光刻胶、电子化学品等实现产业化。