栅型共振隧穿晶体管的设计与研制

• 作者: 冯震 刘永强 商跃辉 宋瑞良 张世林 李亚丽 李建恒 李效白 梁惠来 毛陆虹 田国平 胡留长 袁明文 郭维廉 齐海涛
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿晶体管 栅控型器件 GaAs基量子器件
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1974-1980
• 页数: 7页
• 分类号: TN313.2
• 字数: 3229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.11.017

摘要

在研制RTD经验的基础上设计并研制成功栅型GaAs基共振隧穿晶体管(GRTT).文中对该器件的材料结构设计、器件结构设计、光刻版图设计、器件制作、参数测量与分析等进行了系统的描述.所研制出的GRTT最大PVCR为46,最大跨导为8mS,为进一步改善器件性能和参数奠定了基础.