双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法

• 作者: 丁学伟 刘晓为 尹亮 汤佳郁 莫冰 谭晓昀
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机械陀螺 驱动力 双电容接口 信号检测
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2236-2239
• 页数: 4页
• 分类号: V2
• 字数: 3131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.245

摘要

在研究双电容接口式微机械陀螺结构与分析传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的基础上,提出了一种适合于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,能够使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而提高微机械陀螺的系统灵敏度;第二,能够消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.