圆形振动膜硅微电容传声器

• 作者: 乔东海 徐联 汪承灏 田静 郝震宏 马军 魏建辉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声学微电子机械系统 硅微电容传声器 圆型振动膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 声微纳器件与技术
• 页码范围: 2297-2299,2303
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.261

摘要

硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪承灏	中国科学院声学研究所	44	387	10.0	19.0
2	马军	中国科学院声学研究所	71	550	13.0	20.0
3	郝震宏	中国科学院声学研究所	9	101	7.0	9.0
4	乔东海	中国科学院声学研究所	25	166	8.0	11.0
5	田静	中国科学院声学研究所	80	686	17.0	21.0
6	徐联	中国科学院声学研究所	7	46	3.0	6.0
7	魏建辉	中国科学院声学研究所	6	57	3.0	6.0