射频螺线管微电感的设计和仿真

• 作者: 周勇 方东明 王西宁 赵小林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 螺线管电感 HFSS 品质因素 射频微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1878-1880
• 页数: 3页
• 分类号: TM5
• 字数: 2107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.151

摘要

为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.