Co掺杂对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

• 作者: 印志强 孙小华 李美亚 赵兴中 陈章红
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: BSTC薄膜 溶胶-凝胶 介电特性 调谐性 品质因子FOM
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1557-1560
• 页数: 4页
• 分类号: TB34|TB43
• 字数: 2155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.10.011

摘要

利用溶胶凝胶工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了Co掺杂量为0～10%(摩尔分数)的(Ba0.6Sr0.4) Ti1-xCoxO3薄膜.研究了薄膜的结构、表面形貌、介电性能与Co掺杂量的关系.薄膜的介电损耗随着Co含量的增加而减少,在摩尔含量10%时达到最小值0.0128.FOM值在摩尔含量为2.5%达到最大值20,它的介电常数、介电损耗和调谐量分别为639.42、0.0218、43.6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	印志强		7	8	2.0	2.0
5	孙小华		1	0	0.0	0.0
6	陈章红		1	0	0.0	0.0
7	李美亚		1	0	0.0	0.0
8	赵兴中		1	0	0.0	0.0