一种面向微型传感器的新型微能源的结构设计与仿真

• 作者: 乔大勇 孙磊 秦冲 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 同位素微电池 微型传感器件 大阵列多层压制 工艺集成
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2488-2490
• 页数: 3页
• 分类号: TN3
• 字数: 2883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.032

摘要

传统同位素微电池的能量转换结构采用单层阵列形式,造成电池输出功率较小,不能满足微型传感器件的需求.设计了一种基于大阵列多层压制的能量转换结构,以引入高深宽比工艺并增大比表面积,从而提高了放射源利用率,使得微电池可以根据微型传感器件的需求作出设计,并能与其进行工艺集成.对这种结构的微电池性能进行仿真得到最佳p-n结结深,结果证明了该结构具有较高的输出功率.