微小差分电容检测电路设计

• 作者: 刘俊 王玲 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 差分电容 充放电 相敏解调
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2529-2531
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.043

摘要

针对电容式MEMS器件,设计了一种用来检测微小差分电容的电路,该电路主要有方波信号发生器、相敏解调和低通滤波电路等组成.具有抗干扰性能好、电路简单、易于集成的特点.通过主要器件--运放的合理选择,调试出较理想的结果.经实验验证,其分辨率可达10-16F.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	王玲	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	12	116	6.0	10.0