纳米Al薄膜表面形貌与导电性的分形表征

• 作者: 丁建宁 付永忠 杨继昌 解国新
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分形 Al薄膜 表面形貌 电阻率
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳材料制备、表征与性能
• 页码范围: 2304-2306,2309
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3153字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.263

摘要

磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米Al薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算,并用四点探针法测量了薄膜电阻.结果表明,随着溅射时间的延长,薄膜表面质量提高,分形维增大,电阻率也随着分形维的增大而增大;随着退火温度的上升,薄膜表面质量下降,分形维和电阻率也随之降低.因此认为,分形维能够较好的表征薄膜表面形貌,分形维与薄膜电阻率存在对应关系,并指出用分形维可以优化溅射工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
2	杨继昌	江苏大学微纳米技术研究中心	108	1546	22.0	34.0
3	付永忠	江苏大学微纳米技术研究中心	20	79	6.0	7.0
4	解国新	江苏大学微纳米技术研究中心	12	37	4.0	5.0