Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究

• 作者: 宋宙模 杨晓光 袁孝 赵跃智 陈长乐 高国棉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PLD ZnO薄膜 Mn掺杂 吸收谱
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 3132-3135
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.06.083

摘要

通过脉冲激光沉积(PLD)法在SiO2基片上制备了不同含量的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜与紫外-可见分光光度计测试结果表明:少量的Mn离子的掺杂并没有改变薄膜的结构,薄膜具有(103)面的择优取向;PLD法制备的ZnO薄膜的成分与靶材基本一致,实现了薄膜的同组分沉积;薄膜表面比较平坦,起伏度小于80nm,颗粒尺寸主要集中在25nm附近;但是Mn离子的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,随Mn掺杂含量的增加,ZnO薄膜的禁带宽度增加;当薄膜中Mn含量从6%增加到12%时,薄膜对紫外强吸收区的光吸收能力也随之增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学理学院应用物理系	144	734	13.0	20.0
2	高国棉	西北工业大学理学院应用物理系	23	239	7.0	15.0
4	袁孝	华中科技大学激光技术国家重点实验室	17	115	7.0	10.0
5	宋宙模	西北工业大学理学院应用物理系	20	125	6.0	10.0
8	赵跃智	西北工业大学理学院应用物理系	2	43	2.0	2.0
9	杨晓光	西北工业大学理学院应用物理系	4	35	2.0	4.0