新颖的可增强功率处理能力的X-波段RF MEMS开关

• 作者: 廖小平 董乔华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 高功率 自执行 自锁
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1900-1903
• 页数: 4页
• 分类号: TM5
• 字数: 2391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.157

摘要

介绍了一种可用于射频系统中的微电子机械开关,通过新颖的三层板结构解决了高功率带来的自执行和自锁效应,并且消除了传统三层板结构引入的应力.采用阻抗匹配的方法提高开关结构的射频性能.利用CoventorWare软件模拟了开关结构的机电特性,利用HFSS软件匹配了开关结构并且模拟了射频性能.开关结构的吸合(pull-in)电压模拟结果为26V.在整个X波段,开关"开"态时的回波损耗低于-28dB,插入损耗小于0.25dB;"关"态时的隔离度大于28dB.