前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 周佳 李敏睿 韩高荣
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO 超声雾化热解法 取向生长
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 本期专题:半导体与器件
• 页码范围: 120-122
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2|O484.1|O614.241
• 字数: 3761字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.01.032

摘要

采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜.研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能.测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性.同时在可见光区也表现出80%以上的高透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室	187	1971	24.0	35.0
2	周佳	浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室	20	49	4.0	6.0
3	李敏睿	浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室	2	3	1.0	1.0