高质量简谐振子的研制

• 作者: 唐东林 崔宇明 陈才和 马广鹏
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MOEMS 简谐振子 优化设计 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 301-304
• 页数: 4页
• 分类号: O321
• 字数: 2548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.02.008

摘要

介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素,在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进,制作出了高质量的简谐振子.成功用于国家自然科学基金项目"光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究"的集成光学器件试验中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈才和	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	34	360	11.0	18.0
2	崔宇明	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	31	314	9.0	17.0
3	唐东林	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	6	49	4.0	6.0
4	马广鹏	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0