LB技术制备的ZrO2纳米薄膜摩擦学行为

• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: ZrO2薄膜 LB技术 摩擦学行为
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 82-83,86
• 页数: 3页
• 分类号: TH11
• 字数: 1502字
• 语种: 中文

摘要

在单晶硅表面制得花生酸锆Langmuir-Blodgett薄膜,对该薄膜在500℃条件下热处理30 min,得到致密ZrO2薄膜.利用AFM,XPS,SEM对其结构和形貌进行表征,摩擦磨损试验结果表明,利用该方法制备的ZrO2薄膜表现出良好的减摩抗磨性能.