表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性

• 作者: 吴小山 张开骁 张荣 徐金 沈波 郑有炓 陈敦军 陶亚奇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Al0.22Ga0.78N/GaN异质结 应变 Si3N4钝化 高温XRD
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1402-1406
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 3067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.03.068

摘要

用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al0.22Ga0.78N/GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质结,当测试温度高于523K时,Al0.22Ga0.78N势垒层开始出现应变弛豫;钝化后,在Al0.22Ga0.78N势垒层中会产生一个附加的平面拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应变将减小,对100nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,应变只是轻微地减小,但对于50nm厚的Al0.22Ga0.78N势垒层,则出现了严重的应变弛豫现象.