利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构

• 作者: 孙涛 董申 闫永达
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: AFM 探针 机械刻划 微纳米加工
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1451-1454
• 页数: 4页
• 分类号: TG5
• 字数: 1543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.037

摘要

为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体"哈工大"为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学机电学院	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学机电学院	124	1024	17.0	23.0
3	闫永达	哈尔滨工业大学机电学院	34	237	9.0	13.0