高模薄膜体声波谐振器(HBAR)的研究

• 作者: 王德苗 董树荣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: FBAR HBAR 压电薄膜 射频反应磁控溅射 谐振频率
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1927-1929
• 页数: 3页
• 分类号: TN62
• 字数: 928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.164

摘要

高次模薄膜体声波谐振器(HBAR)具有简单的半导体工艺特性和良好的高频特性能,在分析HBAR结构和工作模式的基础上,用MBVD模型在ADS上仿真设计了2 GHz谐振频率间隔20 MHz的HBAR,实验采用掩模合射频溅射制备了这种HBAR,实测谐振频率间隔22 MHz,与理论接近,显示了较好的频率特性,实验同时制备了的高C轴取向的AlN薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信电系	51	627	14.0	23.0
2	王德苗	浙江大学信电系	66	789	15.0	24.0