微机械陀螺ASIC接口电路设计

• 作者: 刘晓为 王超 莫冰 许晓巍 谭晓昀 齐向昆
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: CMOS 微机械陀螺 ASIC
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2240-2244
• 页数: 5页
• 分类号: V2
• 字数: 3547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.246

摘要

在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10 V P-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252 mV/aF.芯片面积为5.5 mm×4.4 mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在10 V电源电压下,其功耗为49.3 mW,输出摆幅为4.85±3.1 V,输出节点的零点偏离为0.15 V.此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能,可实现与微陀螺敏感结构的双片集成.