基于α∶CH薄膜的微齿轮的制备

• 作者: 吴卫东 唐永建 张继成
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微齿轮 反应离子刻蚀(RIE) α∶CH薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳制造
• 页码范围: 1398-1400
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.022

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗干净后用毛细管把微齿轮组装到一个固定的转轴上.扫描电子显微镜(SEM)测量表明,所得的微齿轮直径270μm左右,厚度12 μm左右,表面平整,侧壁陡直.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	张继成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	254	9.0	15.0