分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计

• 作者: 乔大勇 李晓莹 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微变形镜 分立活塞式 系统级 集成设计平台
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1761-1763,1767
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.119

摘要

利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微变形镜的各项性能指标完全能满足一般自适应光学系统的应用要求.