基于原子力显微镜的纳米三维刻划加工控制系统

• 作者: 孙涛 张英华 胡振江 董申 郑兴华
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 原子力显微镜 三维刻划加工 三维微动工作台
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 工业控制
• 页码范围: 1358-1360
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4598.2006.10.028

摘要

介绍了一套新型的纳米三维刻划加工控制系统,系统基于AFM原子力显微镜,配合三维微动工作台,设计开发了专门的加工控制装置,成功的实现了纳米刻划加工中的深度控制问题,可实现在X、Y、Z方向分别为100μm×100μm×20μm范围内,X、Y向精度为±5 nm、Z向精度为±10nm的三维结构机械刻划加工,应用结果表明,该系统实现了具有在位形貌检测功能的三维纳米刻划加工,在微纳米刻划加工领域具有一定的实用性和推广价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	郑兴华	中国科学院工程热物理研究所	11	66	4.0	8.0
4	胡振江	哈尔滨工业大学精密工程研究所	10	36	4.0	5.0
5	张英华	哈尔滨工业大学精密工程研究所	4	2	1.0	1.0