薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用

• 作者: 吴勇 吴孟强 张树人 蒋松涛
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 体声波 谐振器 滤波器 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TN7
• 字数: 4778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.11.006

摘要

薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选.系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	吴孟强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	56	505	13.0	21.0
3	吴勇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	18	2.0	2.0
4	蒋松涛	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	18	2.0	2.0