基于DSP的数字扫描探针显微镜的硬件解决方案研究

• 作者: 李亚兰 李小飞 李超纯 杨特育
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: DSP技术 数字扫描探针显微镜 TMS320VC5416
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 90-92
• 页数: 3页
• 分类号: TN911.72

摘要

随着纳米技术研究的进一步深入，对其研究工具SPM的精度已提出了更高的要求。文中针对这一课题，提出了基于DSP的数字扫描探针显微镜的硬件解决方案。该方案和以往基于PCI的SPM的系统相比，无论是在数据处理速度，还是在扫描精度或性能上都有明显提高．其发展空间和应用前景十分广阍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李亚兰		14	27	3.0	5.0
2	杨特育		7	11	1.0	3.0
3	李小飞		5	11	1.0	3.0
4	李超纯		5	11	1.0	3.0