光刻设备TRACK系统的无死锁调度算法

• 作者: 王令群 郑应平
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体生产线 柔性路由 无死锁调度
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 博士论坛
• 页码范围: 1-3,12
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 2894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-8331.2006.07.001

摘要

为使半导体生产线光刻设备的TRACK系统正常运行,有效地避免死锁,提高设备利用率,提出了一种无死锁调度算法,在不会引发死锁的条件下为需要调度的工件确定加工组件,同时考虑到组件发生故障的情况,及时排除故障的影响,并通过仿真证明了算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑应平		7	29	3.0	5.0
2	王令群	同济大学控制科学与工程系	17	119	7.0	10.0