微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究

• 作者: 乔大勇 安飞 秦冲 苑伟政
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 可编程光栅 光谱模拟 相关光谱法
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1754-1756,1760
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 2661字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.117

摘要

研究了基于MOEMS技术的微型可编程光栅的光学特性.对平行复色光正入射时微型可编程光栅的衍射场进行了理论分析,分析表明可以通过对可编程光栅编程状态的预先设定,使其衍射输出对应于不同目标物质的光谱,即模拟光谱.最后介绍了微型可编程光栅的光谱模拟特性在相关光谱检测法中的应用,分析了其相对于传统方法的优点.