基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统

• 作者: 张文栋 张斌珍 桑胜波 薛晨阳 郑丽娜
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 动态应力 MEMS 拉曼光谱仪 高频调制 测试系统
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 306-309
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2632字
• 语种: 中文

摘要

微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要.介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光-机-电集成的MEMS测试系统.利用此测试系统时硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合.实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	107	535	12.0	18.0
4	郑丽娜	中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	32	2.0	4.0