电荷非平衡super junction结构电场分布

• 作者: 乔明 方健 李肇基
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: superjunction 电场分布 电荷非平衡
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 3656-3663
• 页数: 8页
• 分类号: O4
• 字数: 3099字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.076

摘要

建立了电荷非平衡情况下super junction(SJ)耐压结构的二维电场分布理论模型.获得了浓度和宽度非平衡、梯形n-/p-区和横向线性缓变掺杂三种非平衡SJ结构的电场分布.理论分析结果与二维器件数值仿真软件MEDICI的仿真结果符合良好.虽然给出的电场分布为三角级数形式,但仍能从中获得很多重要信息.特别地,由此可求出非平衡SJ结构的峰值电场和耐压.该结果有助于对SJ结构的深入分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李肇基	电子科技大学微电子与固体电子学院	85	958	14.0	28.0
2	方健	电子科技大学微电子与固体电子学院	35	304	9.0	16.0
3	乔明	电子科技大学微电子与固体电子学院	35	178	8.0	12.0