SiO2脊形条波导热极化引起的电光效应

• 作者: 成丽华 曹霞 秦海燕
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电光调制器 SiO2光波导 电光效应 热极化
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 5283-5287
• 页数: 5页
• 分类号: O37
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.10.051

摘要

通过理论模拟对具有上覆盖层的SiO2脊形条波导结构进行了优化,在此基础上利用微电子工艺制作了SiO2脊形波导Mach-Zehnder 型电光调制器,并进行热极化引起的电光和非线性效应的研究.热极化过程大幅增强了样品的电光及非线性效应,二次电光系数由热极化前的1.56×10-22(m/V)2提高到热极化后的8.50×10-22(m/V)2,极化后得到了0.093pm/V的线性电光系数,对热极化的物理机理进行了理论分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹霞	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	13	50	4.0	7.0
2	成丽华	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	10	1.0	3.0
3	秦海燕	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	0	0.0	0.0