单管压电扫描器非线性校正的计算机仿真

• 作者: 周兵 孙鑫
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 仿真 建模 压电陶瓷管 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 仿真应用研究
• 页码范围: 302-304
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 1839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2006.07.080

摘要

对扫描探针显微镜中的单管压电执行器在x-y平面扫描的电压-位移特性进行了物理和数据分析,提出了一种基于采集数据和Matlab数值计算的建模方法.经过大量的实验数据的统计分析,充分考虑了扫描速度、扫描角度、非正交和耦合误差因素对单管压电扫描器模型误差的影响,建立的模型的数学表达式在形式上表现为二项式叠加各种误差表达式.基于此模型推导出了单管压电扫描器的非线性校正的数学表达式,通过计算机仿真软件Matlab对其进行了仿真研究.仿真实验证明建立的模型能有效的消除各种误差.该方法避免了建模时对压电陶瓷内部机理(极化等)的分析,使模型参数的个数降低到很少,是一种在工程实践中非常实用的建模方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兵	上海大学机电工程与自动化学院	5	7	2.0	2.0
2	孙鑫	上海大学机电工程与自动化学院	28	482	11.0	21.0