多层介质膜脉冲压缩光栅近场光学特性分析

• 作者: 刘世杰 孔伟金 晋云霞 沈健 沈自才 范正修 邵建达 魏朝阳
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射光学 多层介质膜光栅 模式理论 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 4588-4594
• 页数: 7页
• 分类号: O37
• 字数: 4484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.09.032

摘要

利用傅里叶模式理论分析了TE波自准直角入射的使用条件下,多层介质膜光栅的光栅区和多层膜区电场分布的特点.分别讨论了HfO2和SiO2为顶层光栅材料时,光栅结构参数对光栅脊峰值电场的影响,结果表明,对于不同膜厚的顶层材料,存在一个最佳膜厚度,使光栅脊峰值电场最小,并且当膜厚增大时,设计大高宽比的光栅可以降低该电场峰值.最后,在大角度条件下使用多层膜光栅也可以降低光栅脊处的峰值电场.