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摘要:
采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列.利用扫描电子显微镜(SEM)分析了在Si(100)衬底上通过微加工所获得的孔洞阵列和采用聚合物填充该孔洞所获得微锥阵列的形貌.研究表明:Si(100)衬底上倒金字塔孔洞阵列轮廓分明,内壁平滑;该聚合物微锥呈类圆锥的形貌,可用作制备场致发射微锥阵列的衬底材料.
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文献信息
篇名 一种聚合物微锥阵列的制作工艺研究
来源期刊 武汉理工大学学报 学科 工学
关键词 微制造 聚合物 微锥阵列
年,卷(期) 2006,(4) 所属期刊栏目 材料科学与工程
研究方向 页码范围 41-43
页数 3页 分类号 TN405.98
字数 1861字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1671-4431.2006.04.013
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 姜德生 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室 202 2882 27.0 39.0
2 刘忠明 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室 6 35 3.0 5.0
3 童杏林 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室 31 105 6.0 8.0
4 罗梦泽 武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室 2 15 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
微制造
聚合物
微锥阵列
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
武汉理工大学学报
月刊
1671-4431
42-1657/N
大16开
武昌珞狮路122号武汉理工大学(西院)
38-41
1979
chi
出版文献量(篇)
8296
总下载数(次)
17
相关基金
中国博士后科学基金
英文译名:China Postdoctoral Science Foundation
官方网址:http://www.chinapostdoctor.org.cn/index.asp
项目类型:
学科类型:
论文1v1指导