一种聚合物微锥阵列的制作工艺研究

• 作者: 刘忠明 姜德生 童杏林 罗梦泽
• 来源期刊: 武汉理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微制造 聚合物 微锥阵列
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TN405.98
• 字数: 1861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4431.2006.04.013

摘要

采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列.利用扫描电子显微镜(SEM)分析了在Si(100)衬底上通过微加工所获得的孔洞阵列和采用聚合物填充该孔洞所获得微锥阵列的形貌.研究表明:Si(100)衬底上倒金字塔孔洞阵列轮廓分明,内壁平滑;该聚合物微锥呈类圆锥的形貌,可用作制备场致发射微锥阵列的衬底材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德生	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	202	2882	27.0	39.0
2	刘忠明	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	6	35	3.0	5.0
3	童杏林	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	31	105	6.0	8.0
4	罗梦泽	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	2	15	1.0	2.0