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摘要:
原子在近共振激光驻波场中受光的作用力汇聚沉积,形成以激光半波长为周期的光栅结构.利用半经典模型对钠原子束在不饱和驻波场中的运动行为进行了理论研究,用数值方法模拟出在考虑横向温度、纵向速度和自由飞程后钠原子沉积的光栅结构,通过半高宽、对比度对最终沉积图样进行表征,分析了这些因素对沉积的影响,为正在开展的原子光刻实验提供了必要的理论依据.
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文献信息
篇名 激光驻波场中钠原子沉积图样的理论研究
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 原子沉积 半经典模型 激光驻波场
年,卷(期) 2006,(2) 所属期刊栏目 原子和分子物理学
研究方向 页码范围 667-672
页数 6页 分类号 O56
字数 3979字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.02.033
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 马艳 同济大学精密光学工程技术研究所 56 410 11.0 17.0
2 王占山 同济大学精密光学工程技术研究所 92 640 14.0 19.0
3 赵敏 同济大学精密光学工程技术研究所 34 202 8.0 12.0
4 马彬 同济大学精密光学工程技术研究所 13 114 6.0 10.0
5 马姗姗 同济大学精密光学工程技术研究所 2 14 2.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
原子沉积
半经典模型
激光驻波场
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期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
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北京603信箱
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1933
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