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平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响
作者:
宁兆元
狄小莲
辛煜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
感应耦合等离子体
功率耦合效率
变压器模型
摘要:
基于感应耦合等离子体的变压器模型,分析了感应耦合等离子体的功率耦合效率与线圈配置(几何尺寸、电学参量)及等离子体基本参量(等离子体电子密度、电子-中性粒子有效碰撞频率)之间的关系;然后,改变平板型线圈的匝数从而改变了线圈的几何尺寸、电学参量,并且测量出了不同的线圈所对应的功率耦合效率. 实验结果表明,线圈的电感量是能否实现放电的决定性因素;而功率耦合效率则与感应线圈的Q值、放电参量(气压、功率)等密切相关,射频输入功率的增加、放电气压的上升都会导致感应耦合等离子体耦合效率的提高,这与感应耦合等离子体的变压器模型预测结果是符合的. 然而,变压器模型给出的提高线圈Q值可导致耦合效率增强的预测结果仅适用于同等电感量的线圈条件. 本文对于单线圈的感应耦合等离子体源的研究为线圈的优化设计甚至大面积的多线圈感应耦合等离子体源研制提供了理论依据.
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文献信息
篇名
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
感应耦合等离子体
功率耦合效率
变压器模型
年,卷(期)
2006,(10)
所属期刊栏目
流体、等离子体和放电
研究方向
页码范围
5311-5317
页数
7页
分类号
O4
字数
5173字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2006.10.056
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室
70
528
12.0
18.0
2
辛煜
苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室
38
176
8.0
10.0
3
狄小莲
苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室
5
19
3.0
4.0
传播情况
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参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2008(2)
引证文献(2)
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2010(1)
引证文献(1)
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2019(2)
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二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
感应耦合等离子体
功率耦合效率
变压器模型
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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