TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应

• 作者: 孔明 李戈扬 董云杉 魏仑
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiN/Al2O3纳米多层膜 外延生长 非晶晶化 超硬效应
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 770-775
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.02.052

摘要

采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同Al2O3调制层厚度的TiN/Al2O3纳米多层膜.利用X射线能量色散谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的成分、微结构和力学性能.研究结果表明,在TiN/Al2O3纳米多层膜中,单层膜时以非晶态存在的Al2O3层在厚度小于1.5 nm时因TiN晶体层的模板效应而晶化,并与TiN层形成共格外延生长,相应地,多层膜产生硬度明显升高的超硬效应,最高硬度可达37.9 GPa.进一步增加多层膜中Al2O3调制层的层厚度,Al2O3层逐渐形成非晶结构并破坏了多层膜的共格外延生长,使得多层膜的硬度逐步降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董云杉	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	16	108	6.0	9.0
2	孔明	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	19	194	8.0	13.0
3	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
4	魏仑	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	9	138	6.0	9.0