(111)择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的制备及研究

• 作者: 李新碗 郑分刚 陈建平
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PZT铁电薄膜 择优取向 过渡层 剩余极化强度
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 3067-3072
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.06.071

摘要

选用不同浓度的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶,用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上沉积一层厚度不同的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT52)过渡层,经400℃烘烤、550℃退火等程序后,再用Sol-gel法在PZT52过渡层上沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜.XRD分析表明,有PZT52过渡层的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜具有(111)择优取向的钙钛矿结构,且随着过渡层厚度的增加,Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜的(111)择优取向程度越高.SEM分析表明,当PZT52过渡层的厚度达到14nm以上,Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶程度得到明显改善,平均晶粒尺寸大大增加.介电、铁电性能测试表明,与没有过渡层的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜相比,有PZT52过渡层的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜具有较大的介电常数和剩余极化强度,而介电损耗则较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建平	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	142	703	11.0	22.0
2	李新碗	上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室	55	281	8.0	14.0
3	郑分刚	苏州大学物理科学与技术学院	5	17	3.0	4.0