电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅰ)——物理模型与理论方法

• 作者: 杨中海 金晓林
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子回旋共振放电 粒子模拟 蒙特卡罗 电离
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 5930-5934
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 2776字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.058

摘要

采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法对电子回旋共振(ECR)放电中的电离过程进行了模拟,其中带电粒子与微波的相互作用由PIC方法的电磁模型描述,粒子间的碰撞过程由MCC方法描述.考虑的碰撞类型有电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞,碰撞截面均依赖于能量而变化.阐述了理论分析的过程,为数值模拟ECR放电奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨中海	电子科技大学物理电子学院	97	814	15.0	24.0
2	金晓林	电子科技大学物理电子学院	17	103	6.0	9.0