基于PMAC的光刻机隔振试验台控制系统的设计

• 作者: 吴运新 王永华
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 开放式数控系统 PMAC 运动控制器 同步控制
• 年，卷（期）: 2006,（13）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 40-42,9
• 页数: 4页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2006.13.015

摘要

概述了步进扫描光刻机运动系统的结构和开放式数控系统的特点:以PMAC运动控制器为核心,搭建了光刻机隔振试验台.详细分析了其控制系统的硬件结构和部件的选型,介绍了伺服系统PID参数的整定方法,最后讨论了如何利用系统软件实现同步控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永华		1	1	1.0	1.0
2	吴运新		1	1	1.0	1.0