半导体扩散炉组监控软件的通讯模块设计

• 作者: 李君峰 梅兴东 綦声波
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 半导体扩散炉 串口通讯 Visual C++
• 年，卷（期）: 2006,（28）
• 所属期刊栏目: 数采与监测
• 页码范围: 244-246
• 页数: 3页
• 分类号: TP311
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2006.28.086

摘要

本文以微型计算机在半导体扩散炉控制中的应用为例,对上位机监控软件的通讯和组成模块进行了探讨,并使之能与半导体扩散炉组实现高效、可靠通讯.文中给出了相应的软件流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	綦声波		1	4	1.0	1.0
2	李君峰		1	4	1.0	1.0
3	梅兴东		1	4	1.0	1.0