基于VI的恒温区段测量系统设计

• 作者: 封筠 王彦芳 贺海宏 韩江河
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 虚拟仪器 恒温区 测量
• 年，卷（期）: 2006,（13）
• 所属期刊栏目: 传感器与仪器仪表
• 页码范围: 170-171,207
• 页数: 3页
• 分类号: TP216|TH811
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2006.13.063

摘要

在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段,针对人工测量效率低,精度差等问题,设计了基于LabVIEW虚拟仪器的恒温区自动测量系统,阐述了系统的组成和测量原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	封筠		32	166	6.0	11.0
2	韩江河		10	17	3.0	4.0
3	贺海宏		13	31	2.0	5.0