MEMS弹簧特性的有限元分析

• 作者: 何光 石庚辰
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: MEMS弹簧 有限元方法 刚度特性
• 年，卷（期）: 2006,（35）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 158-160
• 页数: 3页
• 分类号: TH702
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2006.35.058

摘要

利用有限元分析软件ANSYS对镍质平面S型MEMS弹簧进行实体建模、静力学有限元计算分析,得到了各结构参数对刚度的影响规律,明确了其刚度特性.ANSYS仿真结果与镍质平面S型微弹簧的实际拉伸实验结果一致性很好,证明ANSYS软件对微弹簧力学性能的模拟较为准确.本文的分析方法对于其它类似的MEMS器件的分析有一定的借鉴意义,研究成果为平面微弹簧的优化设计与加工提供了依据,具有实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	何光	北京理工大学机电工程学院	9	106	5.0	9.0