电泳沉积法制备MgO薄膜

• 作者: 孙钦军 曹玉萍 李玉国
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: MgO薄膜 Si衬底 电泳沉积
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.01.005

摘要

采用电泳沉积法(EPD)在Si(111)衬底上制备出了MgO薄膜.用X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)谱、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)对样品的结构和形貌进行了分析.结果显示所得样品为立方MgO多晶薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹玉萍		2	7	1.0	2.0
2	李玉国		5	16	3.0	3.0
3	孙钦军		1	6	1.0	1.0