基于CPLD的全自动半导体芯片键合机的控制技术

• 作者: 张惠乐 赵慧民 迟艳丽
• 来源期刊: 系统仿真技术
• 学科: 工学
• 关键词: 复杂可编程逻辑器件(CPLD) XC95144-15PQ100C VHDL语言
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 论文交流
• 页码范围: 96-101
• 页数: 6页
• 分类号: TP39
• 字数: 1981字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1964.2007.02.007

摘要

针对传统的半导体芯片键合机的控制板卡逻辑器件多、电路复杂、稳定性差等特点,提出了一种基于CPLD的全自动半导体芯片键合机的控制技术.并在试验板上进行了测试,试验表明新的控制技术完全可以取代原控制板卡的功能,且该方案提高了控制板卡的工作速度,具有电路设计简单、可靠性高和易移植等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵慧民	佛山科学技术学院机电学院	32	86	5.0	7.0
2	迟艳丽	华南理工大学电子与信息工程学院	4	0	0.0	0.0
3	张惠乐	华南理工大学电子与信息工程学院	5	0	0.0	0.0