金刚石膜的氮掺杂行为

• 作者: 吕宪义 孙宝茹 李博 李明吉 李春燕 金曾孙
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚石膜 EA-CVD方法 膜品质 氮杂质
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 183-187
• 页数: 5页
• 分类号: O613.71|TQ163
• 字数: 2258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-8827.2007.02.016

摘要

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态.结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的"菜花状",且非晶碳的含量增加,品质下降.金刚石膜中氮以Ns0、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,在较低氮气流量下[N-V]0和[N-V]-1的含量较多,Ns0氮杂质的质量分数在1.50×10-～4.83×10-4之间变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕宪义	吉林大学超硬材料国家重点实验室	27	302	10.0	17.0
2	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
3	李博	吉林大学超硬材料国家重点实验室	92	412	11.0	15.0
4	李春燕	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	43	3.0	6.0
5	李明吉	吉林大学超硬材料国家重点实验室	3	28	2.0	3.0
6	孙宝茹	吉林大学超硬材料国家重点实验室	2	6	1.0	2.0