超高/极高真空校准装置的研制

• 作者: 冯焱 张涤新 成永军 李得天 李正海 郭美如
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空 极高真空 校准装置 校准方法
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 字数: 5392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.02.002

摘要

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10 Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度.校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1 Pa～10-10 Pa,合成标准不确定度为0.41%～3.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	郭美如		28	208	8.0	12.0
3	冯焱		51	463	12.0	17.0
4	张涤新		62	468	12.0	17.0
5	成永军		39	271	9.0	13.0
6	李正海		10	110	5.0	10.0