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摘要:
超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10 Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度.校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1 Pa~10-10 Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%.
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文献信息
篇名 超高/极高真空校准装置的研制
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 超高真空 极高真空 校准装置 校准方法
年,卷(期) 2007,(2) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 92-96
页数 5页 分类号 TB77
字数 5392字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.02.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 63 622 15.0 20.0
2 郭美如 28 208 8.0 12.0
3 冯焱 51 463 12.0 17.0
4 张涤新 62 468 12.0 17.0
5 成永军 39 271 9.0 13.0
6 李正海 10 110 5.0 10.0
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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