大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能

• 作者: 吴昊 孟永钢 温诗铸 苏才钧 郭占社
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 多晶硅 薄膜 疲劳
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 919-922
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5|TB302.3|O346.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.06.011

摘要

为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性.实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度.每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35 GPa～0.70 GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S-N曲线.研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系.该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昊	清华大学摩擦学国家重点实验室	33	528	10.0	22.0
2	温诗铸	清华大学摩擦学国家重点实验室	156	3364	28.0	50.0
3	苏才钧	清华大学摩擦学国家重点实验室	7	114	5.0	7.0
4	郭占社	清华大学摩擦学国家重点实验室	8	127	6.0	8.0
5	孟永钢	清华大学摩擦学国家重点实验室	94	907	17.0	24.0